一、产品介绍

Thermo Scientific™ Verios ™ 5 XHR SEM可在1 keV至30 keV的整个能量范围内提供亚纳米级的分辨率，并具有出色的材料对比度。前所未有的自动化和易用性水平使该性能可供任何经验水平的用户使用。对于材料科学家来说，热科学Verios 5型XHR通过将亚纳米特性扩展到目前正在开发的新材料（如催化剂颗粒、纳米管、孔隙、界面、生物物体和其他纳米尺度结构），扫描电镜提供了重要的新见解。高分辨率，高对比度的图像获得不需要过渡到瞬变或其他成像技术。5XHRSEM提供了研究应用的所有灵活性，以容纳大样本，如全晶片或冶金样品，执行快速分析由于其高电流模式或工作在精密原型应用，如电子束诱导直接沉积材料或光刻。在半导体和数据存储市场，Verios 5XHRSEM前所未有的性能显着扩展了SEM的能力，为基础研究、工艺和材料开发、过程控制和失效分析提供了完整的解决方案。它提供了准确的，可重复的测量结果，即使在极端敏感的材料。5XHRSEM的特点是行业领先的性能，而不影响高吞吐量、样品灵活性和传统SEM的易用性。

二、应用领域

广泛的应用在生物学、医学、冶金学等学科领域。

三、产品特点

1. 使用UC +的最佳纳米材料图像分辨率，这是一种单色电子源，可实现1-30 kV的亚纳米性能。
2. 敏感材料上的最佳对比度，具有低至20 eV着陆能量的出色性能，高灵敏度的柱内和透镜下方检测器以及用于低剂量操作和最佳对比度选择的信号过滤。
3. 使用具有SmartAlign和FLASH技术的同类最佳Elstar电子色谱柱，为任何经验水平的用户提供最短的纳米级信息。
4. 使用ConstantPower镜头，静电扫描和两个压电位移台的选择，可获得一致的测量结果。
5. 大腔室附件的灵活性。
6. 使用AutoScript 4软件（基于Python的可选应用程序编程接口）进行无人值守的SEM操作。